製品

■ サイクロトロンイオン注入装置
概要

3軸ロボットを操作しウェハを放射線注入位置へ搬送後、照射位置にて放射線照射を規定電流値まで照射。
完了したウェハを工程完了エリアへ搬送するシステム。

株式会社 デジタルピア
【愛媛本社】
〒790-0951
愛媛県松山市天山1丁目14番23-1号
TEL:089-993-5050/FAX:089-993-5051

【千舟オフィス】
〒790-0011
愛媛県松山市千舟町4丁目4番地1
グランディア千舟 3階C

【東京本社】
〒108-0023
東京都港区芝浦3-17-11
天翔田町ビル405号室
TEL:03-6417-4298/FAX:03-6417-4299